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[发明专利]单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器-CN201010556470.8有效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器，用于解决现有的三轴磁通门传感器加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致，降低了制造成本。采用长条形铁芯磁通门的三轴磁通门传感器，采用磁通门与传感器基座分离结构，降低了铁芯、线圈的加工、绕线和装配的复杂程度，保证了三个单轴磁通门相互垂直，三个单轴磁通门固定方便，提高了磁通门三轴传感器的可靠性和可维修性
单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器

[实用新型]单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器-CN201020621359.8无效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器，用于解决现有的三轴磁通门传感器加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致，降低了制造成本。采用长条形铁芯磁通门的三轴磁通门传感器，采用磁通门与传感器基座分离结构，降低了铁芯、线圈的加工、绕线和装配的复杂程度，保证了三个单轴磁通门相互垂直，三个单轴磁通门固定方便，提高了磁通门三轴传感器的可靠性和可维修性
单铁芯磁通门以及磁通门三轴传感器

[发明专利]一种三轴磁通门传感器-CN202310349719.5在审
发明人：周柯;奉斌;金庆忍;莫枝阅;王晓明;卢柏桦 -专利权人：广西电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01R33/05 文献下载
摘要：本发明属于设备技术领域，尤其涉及三轴磁通门传感器包括硅立方基座和三个微机电系统单轴磁通门传感器芯片；微机电系统单轴磁通门传感器芯片分别位于所示硅立方基座的共顶点正交三平面上，并通过硅‑玻璃键合技术键合到硅立方基座表面，微机电系统单轴磁通门传感器芯片的磁敏感方向分别是沿正交的三个方向探测磁场的x、y、z三个分量值。通过硅‑玻璃键合技术在硅立方体上键合固定微机电系统单轴磁通门传感器芯片，与传统三轴磁通门传感器使用三维骨架作为支撑粘贴磁芯然后缠绕铜线相比，不仅大大缩短了三轴磁通门传感器的尺寸和制造周期，而且减小了三轴磁通门传感器的轴间正交误差，可实现三轴磁通门传感器的批量生产降低应用成本。
一种三轴磁通门传感器

[发明专利]一种三轴磁通门传感器-CN201611005081.X在审
发明人：雷冲;周勇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2016-11-15 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01R33/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴磁通门传感器，包括一个x‑y双轴平面磁通门传感器、一个z轴向单轴平面磁通门传感器；其中x‑y双轴芯片包含在同一硅衬底上的两个正交分布的单立的单轴平面磁通门传感器单元，且z轴向单轴平面磁通门传感器仅衬底材料采用大厚度玻璃衬底利用硅‑玻璃键合技术将z轴向单轴芯片短轴端的侧面键合固定在x‑y双轴芯片硅衬底表面上，使z轴向单轴芯片的磁敏感轴垂直正交于x‑y双轴芯片的x、y轴向磁敏感轴，从而实现磁场的x、y、z正交性三分量探测。本发明解决了现有三轴磁通门传感器体积大、重量高、功耗大的问题，充分利用了微机电系统单轴磁通门传感器芯片体积小、功耗低、一致性高的优点，以及键合对准正交误差小的优势。
一种三轴磁通门传感器

[发明专利]单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器-CN201010556482.0有效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器，用于解决现有的磁通门铁芯加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致。采用长条形铁芯磁通门的单轴磁通门传感器，采用挡板和电路板固定方式，保证了可靠性和可维修性，也使引线焊接更为方便，成本较低；电路板的橡胶垫和顶丝上的橡胶垫以及柔性套管减小了铁芯所受的应力，提高了磁通门铁芯抗冲击能力
单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器

[实用新型]单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器-CN201020621376.1无效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器，用于解决现有的磁通门铁芯加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致。采用长条形铁芯磁通门的单轴磁通门传感器，采用挡板和电路板固定方式，保证了可靠性和可维修性，也使引线焊接更为方便，成本较低；电路板的橡胶垫和顶丝上的橡胶垫以及柔性套管减小了铁芯所受的应力，提高了磁通门铁芯抗冲击能力
单铁芯磁通门以及磁通门单轴传感器

[发明专利]一种三轴磁通门传感器-CN201611005079.2有效
发明人：雷冲;周勇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2016-11-15 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G01R33/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于硅立方体‑玻璃键合的微机电系统三轴磁通门传感器，涉及微机电系统领域，包括一个1立方厘米硅立方基座、三个微机电系统单轴磁通门传感器芯片；其中微机电系统单轴磁通门传感器芯片包含玻璃衬底、激励线圈、检测线圈、磁芯、电极和聚酰亚胺薄膜。三个微机电系统单轴磁通门传感器芯片通过硅‑玻璃键合沿正交的三个方向分别精确定位固定于硅立方基座共顶点正交的三个平面上。本发明解决了现有三轴磁通门传感器体积大、重量高、功耗大的问题，采用硅立方体‑玻璃键合的微机电系统三轴磁通门传感器利用微机电系统单轴磁通门传感器芯片和硅立方基座的键合，有效缩小了高精度三轴磁通门传感器的体积
微机电系统三轴磁通门传感器磁通门传感器单轴玻璃键合芯片正交的微机电系统领域聚酰亚胺薄膜定位固定激励线圈检测线圈立方厘米电极共顶点衬底磁芯功耗键合玻璃

[发明专利]一种单轴磁通门传感器参数的标定方法-CN201410189320.6有效
发明人：胡杰;张琳 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2014-05-07 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单轴磁通门传感器参数的标定方法，属于弱磁场检测领域。一种单轴磁通门传感器参数的标定方法，利用地球磁场模型计算出测量地的地磁场强度的垂直分量MZ，采集单轴磁通门传感器的敏感轴与重力加速度方向一致时的输出电压V1，再采集单轴磁通门传感器的敏感轴与重力加速反度方向相反时的输出电压V2，将MZ、V1和V2代入单轴磁通门传感器的输出电压与磁感应强度成线性关系的计算公式M＝K*V+M0，得到两个方程式MZ＝K*V1+M0和‑MZ＝K*V2+M0，最后解得单轴磁通门传感器的线性系数K和零点偏差
一种单轴磁通门传感器参数标定方法

[发明专利]一种微机电系统磁通门地磁张量传感芯片-CN202110678296.2有效
发明人：雷冲;刘佳宁 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统磁通门地磁张量传感芯片，包括玻璃衬底、平面微机电系统磁通门传感器件阵列和硅支撑片；该传感器件阵列含有五个磁通门传感单元，分别位于十字形结构的四个顶点和中心点位置，每个单元由垂直正交的两个单轴磁通门传感器件组成；该传感器件阵列中的同轴同向单轴磁通门传感器件相对中心点呈平行对称分布，相邻的同轴同向单轴磁通门传感器件间距相等；该传感器件阵列通过硅‑玻璃键合固定至硅支撑片上下表面，位于上下平面的各磁通门传感单元在垂直方向上一一平行重合对应本发明可以有效实现地磁场张量测量，极大缩小了磁通门张量仪体积，大幅提升了磁通门张量仪的测量精度，有力促进了地磁场张量测量技术广泛实际应用。
一种微机系统磁通门地磁张量传感芯片

[实用新型]一种金属磁记忆检测仪-CN201220416920.8有效
发明人：张松勇;唐春琴;渐开旺;徐斌;吴英俊 -专利权人：上海海碧电子科技有限公司
申请日： 2012-08-21 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01N27/83 文献下载
摘要：本实用新型提供一种金属磁记忆检测仪，包括磁传感器阵列，其特征在于：所述磁传感器阵列包含双轴磁通门传感器，该双轴磁通门传感器由两个单分量磁通门传感器组成，所述两个单分量磁通门传感器互相垂直安装，并封装在无磁双轴外壳内本实用新型提供的金属磁记忆检测仪，通过采用互相垂直安装的两个单分量磁通门传感器，分别检测被测金属磁场的切向分量和法向分量，增加了检测信息冗余量，磁场的测量精度达到10-9T，能够检测出被测物体的细微损伤和构件内部应力集中部位
一种金属记忆检测

[发明专利]单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器-CN201010556481.6有效
发明人：严家明;刘诗斌 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器，用于解决现有的双轴磁通门传感器绕线困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致。磁通门与传感器支架分离，降低铁芯、线圈的加工、绕线和装配的复杂程度，保证了两个轴之间的相互垂直和测量轴与外壳的一致性，提高了磁通门双轴传感器的可靠性和可维修性；电路板的橡胶垫和顶丝上的橡胶垫以及柔性套管减小了铁芯所受的应力，提高了磁通门铁芯抗冲击能力。
单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器

[实用新型]单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器-CN201020621360.0无效
发明人：严家明;刘诗斌 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器，用于解决现有的双轴磁通门传感器绕线困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致。磁通门与传感器支架分离，降低铁芯、线圈的加工、绕线和装配的复杂程度，保证了两个轴之间的相互垂直和测量轴与外壳的一致性，提高了磁通门双轴传感器的可靠性和可维修性；电路板的橡胶垫和顶丝上的橡胶垫以及柔性套管减小了铁芯所受的应力，提高了磁通门铁芯抗冲击能力。
单铁芯磁通门以及磁通门双轴传感器

[发明专利]一种单铁芯磁通门-CN201010556483.5有效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： G01R33/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种单铁芯磁通门，用于解决现有的磁通门铁芯加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，铁芯外面有柔性套管，带有柔性套管的铁芯位于骨架的中心。由于骨架是开放式，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致，同时，降低了制造成本。
一种单铁芯磁通门

[实用新型]一种单铁芯磁通门-CN201020621377.6无效
发明人：刘诗斌;严家明 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： G01R33/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单铁芯磁通门，用于解决现有的磁通门铁芯加工困难的技术问题。技术方案是磁通门的铁芯是长条形，铁芯外面有柔性套管，带有柔性套管的铁芯位于骨架的中心。由于骨架是开放式，加工绕线更加方便，更能保证测量轴与安装轴的一致，同时，降低了制造成本。
一种单铁芯磁通门

[发明专利]磁通门磁力梯度仪及其同轴调整方法-CN201410200464.7有效
发明人：胡杰;张琳 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2014-05-13 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01R33/022 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁通门磁力梯度仪及其同轴调整方法，属于弱磁场检测领域。一种磁通门磁力梯度仪，在梯度仪的探杆两端的安装盒的盒子本体的一对平行侧壁上分别设有调整螺丝孔，且所述两个安装盒上设有调整螺丝孔的对侧壁之间互相垂直，两个单轴磁通门传感器的敏感轴沿探杆轴向呈同轴固定在安装盒内；一种磁通门磁力梯度仪的同轴调整方法，将磁通门磁力梯度仪垂直固定在无磁校正台上，反复交替微调两端用于固定磁通门的紧定螺丝，至两个磁通门的磁通量读数差值小于1nT，最后将两个磁通门用硅胶永久固定在安装盒内本发明中所述的磁通门磁力梯度仪，两个方向的调整不会互相干扰，有效简化了同轴调整过程，提高了同轴调整的精度。
磁通门磁力梯度及其同轴调整方法

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